SplitFlow? 50，具有 TC 110，DN 63 ISO-K，渦輪分子泵

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渦輪分子泵——真空泵中的領(lǐng)導(dǎo)者

真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對(duì)壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。

完美的真空解決方案滿足較高要求

普發(fā)真空擁有抽速介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價(jià)比和靈活的安裝方式。經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類型的軸承可供選擇——一種是由前級(jí)真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動(dòng)式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃稀Ｒ虼?，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。

優(yōu)化客戶利益

真空對(duì)于整個(gè)生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達(dá)數(shù)百萬歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來越重要。如今，渦輪泵的工作時(shí)間常高達(dá)十萬小時(shí)以上。在這段時(shí)間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護(hù)或服務(wù)作業(yè)而造成的計(jì)劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場(chǎng)更換軸承或機(jī)油的特點(diǎn)。結(jié)合該特點(diǎn)，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護(hù)等級(jí) IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進(jìn)：一臺(tái)抽速達(dá) 250 l/s 的渦輪泵，其重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。

應(yīng)用

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。

應(yīng)用范圍覆蓋多個(gè)領(lǐng)域：

分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽能電池等）

光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

SplitFlow? 50

小型、高性能的 SplitFlow 渦輪泵基于在高真空法蘭上具有較高 53 l/s 和在中間抽吸裝置上具有 0.15 l/s(用于 N2）抽吸能力的 HiPace 技術(shù)。

產(chǎn)品描述

集成的驅(qū)動(dòng)電子裝置，防護(hù)類型 IP 54 適合于工業(yè)用途

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認(rèn)證

運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的較高運(yùn)行安全性

緊湊結(jié)構(gòu)形成的較低空間要求

對(duì)于所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮

產(chǎn)品

SplitFlow? 50，具有 TC 110，DN 63 ISO-K (PM P04 340)

SplitFlow? 50，具有 TC 110，DN 63 CF-F (PM P04 342)

SplitFlow? 50，具有 TC 110，DN 63 ISO-K

訂單號(hào): PM P04 340

集成驅(qū)動(dòng)電子裝置 TC 110

用于在所有情況下的安裝

理想適用于諸如泄漏查找和質(zhì)譜分析等分析性應(yīng)用

廣泛的配件擴(kuò)展使用范圍

基于 HiPace 技術(shù)的小型、高性能的渦輪泵

在高真空法蘭上具有較高 53 l/s 對(duì)于 N2 和在中間抽出裝置上具有 0.15 l/s 抽吸能力

技術(shù)參數(shù)

2707-Operating voltage: V DC	24 (± 5 %) V DC
Ar 的壓縮比	2.1 · 1010
Ar 的壓縮比（中間抽氣/預(yù)真空）	1.5 · 103
Ar 的抽速	53 l/s
Ar 的抽速（中間抽氣）	0.13 l/s
Ar 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	0.46 hPa l/s \| 0.34 Torr l/s \| 0.46 mbar l/s
H2 的壓縮比	1.3 · 106
H2 的壓縮比（中間抽氣/預(yù)真空）	2 · 101
H2 的抽速	21 l/s
H2 的抽速（中間抽氣）	0.3 l/s
H2 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	110 hPa l/s \| 82.5 Torr l/s \| 110 mbar l/s
He 的壓縮比	1.8 · 106
He 的壓縮比（中間抽氣/預(yù)真空）	5 · 101
He 的抽速	27 l/s
He 的抽速（中間抽氣）	0.16 l/s
He 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	7.3 hPa l/s \| 5.47 Torr l/s \| 7.3 mbar l/s
I/O 接口	RS-485, 遠(yuǎn)程
N2 的壓縮比	1 · 108
N2 的壓縮比（中間抽氣/預(yù)真空）	9 · 102
N2 的抽速	53 l/s
N2 的抽速（中間抽氣）	0.15 l/s
N2 的較大預(yù)真空	20 百帕
N2 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	1.8 hPa l/s \| 1.35 Torr l/s \| 1.8 mbar l/s

不帶氣鎮(zhèn)的較終壓力	4 · 10-7 百帕
允許冷卻水的溫度	5 – 25 °C 攝氏度
冷卻水消耗較小值	75 l/h
冷卻水耗量	75 l/h
冷卻類型，可選項(xiàng)	空氣 / 水
冷卻類型，標(biāo)準(zhǔn)	對(duì)流
聲壓水平	≤48 dB(A) 分貝 (A)
安裝方向	任何
排氣連接	G 1/8"
方位	混合動(dòng)力
較大允許磁場(chǎng)	5 mT
根據(jù) PNEUROP 的較終壓力	< 4 · 10-7 百帕
電子驅(qū)動(dòng)單元	TM 700
電流較大值	4,6 A
耗電量 max.	110 瓦
轉(zhuǎn)速 ?± 2 %	49,000 rpm \| 49,000 min-1
運(yùn)行時(shí)間	1.3 分
連接法蘭（中間抽氣）	M5
連接法蘭（入口）	DN 63 ISO-K
連接法蘭（出口）	G ?"
重量	2.3 千克
防護(hù)等級(jí)	IP54